設定及び操作が迅速で、信頼性があり、簡単。
　AMU2-1整合回路のサーポコントロールシステムにより、決められた範囲内で素早く、また自動的に正確な同調条件を見つけます。完全に自動化されたチューニングによりオペレーターの干渉なしに素早い効率的かつ正確な設定をします。 　加えて同装置は非イオン電離処理箱“ un-ionized process chamber ”（グロウ放電しない状態“ no glow conditiou ”)を補え、整合範囲において瞬間的なRFの増加による工程への影響を解消し、工程条件の修正を必要としません。 　Trazar製AMU2-1は広範囲な工程条件に対し正確で、そして信頼性のある運転を多年にわたり提供致します。

貴社の仕様に対応します。
　Trazar社にては、RFインピーダンス整合のみに焦点を含ませています。我社の極限に簡易化したオートテイク整合ユニット(AMUシリーズ）は客先独自の回路形態と一体化する設計に限っており、Novellas や Mattson Technology その他多くの主要な半導体関係の客先の仕様に応えています。

AMU10D

AMU10E