設定及操作迅速,有可靠性,簡單。
根據AMU2-1匹配電路的sapokontororushisutemu,在被決定了的範圍內快速,再發現自動地正確的調諧條件。根據完全被自動化做了的調諧就做沒有操作人員的干涉快速的效率的且正確的設定。 能補充加上同裝置不非離子電離處理箱子“ un-ionized process chamber "(gurou放電的狀態“ no glow conditiou "),解除對由於在調整範圍中瞬間性的RF的增加的工序的影響,不把工序條件的修正作為必要。 Trazar制AMU2-1對廣範圍的工序條件正確,並且有可靠性的駕駛經過多年提供。
與貴社的方法對應。
Trazar公司,在只RF阻抗調整裡(上)吸著焦點。在我公司的極限裡(上)簡易化做了的自動take調整單元(AMU系列)只限於著與客人處獨自的電路形態到底化為的設計,回應Novellas 和 Mattson Technology 其他多主要的半導體關係的客人處的方法。
AMU10D
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AMU10E
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