Trazar(트레이닝더-) 오토매틱 impedance 정합 회로는, 최적인 조건을 확보한 휴지 시간을 최소로 하기 위해 정확하고 신뢰성이 있는 조작성이 요구되는 반도체, 평면 디스플레이, 도선 회로, 각종 분석용 계기용으로서 설계된 것입니다.
Trazar(트레이닝더-) 모델 AMU2-1은, 제너레이션에 있어서의 플라스마 복합적인 impedance를 13.56 Hz에, 그리고 다른 주파수를 일정한 50 ohm의 부하 저항에 변환시킵니다.융통 성이 있는 광범위한 RF(주파수) 원(25 W~5,000Ｗ까지)와 불필요한 수속이나 조작이나 조정 없음의 조작성에 의해, AMU2-1은, 다양한 용도에 대해서 가장 융통 의 효과가 있어, 또 경제적인 것으로 하고 있습니다. |
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설정 및 조작이 신속하고, 신뢰성이 있어, 간단.
AMU2-1 정합 회로의 서포콘트로르시스템에 의해, 결정할 수 있던 범위내에서 재빠르게, 또 자동적으로 정확한 동조 조건을 찾아냅니다.완전하게 자동화된 튜닝에 의해 오퍼레이터의 간섭없이 민첩한 효율적 한편 정확한 설정을 합니다. 더해 동장치는 비이온 전리 처리상자“ un-ionized process chamber ”(그로우 방전하지 않는 상태“ no glow conditiou ”)를 보네, 정합 범위에 대해 순간적인 RF의 증가에 의한 공정에의 영향을 해소해, 공정 조건의 수정을 필요로 하지 않습니다. Trazar제 AMU2-1은 광범위한 공정 조건에 대해 정확하고, 그리고 신뢰성이 있는 운전을 다년에 걸쳐 제공합니다.
귀사의 사양에 대응합니다.
Trazar사에서는, RFimpedance 정합에만 초점을 포함하게 하고 있습니다.우리 회사의 극한으로 간이화 한 오토 테이크 정합 유닛(AMU 시리즈)은 객처 독자적인 회로 형태와 일체화하는 설계에 한해서 내려 Novellas (이)나 Mattson Technology 그 외 많은 주요한 반도체 관계의 객처의 사양에 응하고 있습니다.
AMU10D  |
AMU10E  |
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