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  REACTOR 교환 부품으로서 Novellus 순정부품·세컨드품을 두루 갖추고 있습니다.
  히터 블록은 재생(Refurbish)도 받습니다.

Part No & Description


■16-033932-00

WELD SHOWERHEAD 6”

■16-033931-00
WELD SHOWERHEAD 8”

 



■15-00155-00

  5” & 6” Heater Block
  8 Stations

■15-00155-01
  5” & 6” Heater Block with Slotted
  7 Stations

■ 15-00154-00
  8” Heater Block
  6 Stations

■ 15-00154-01
  8” Heater Block with Slotted
  5 Stations

ConceptOne


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